| 项目名称 | 激光光谱研究所磁控溅射仪采购 | 项目编号 | ********** |
| 项目编号 | ********** | ||
| 公告发布日期 | ****/**/** **:** | 公告截止日期 | ****/**/** **:** |
| 公告截止日期 | ****/**/** **:** | ||
| 采购单位 | 山西大学 | 付款条款 | 货到验收合格后*次性支付全款 |
| 付款条款 | 货到验收合格后*次性支付全款 | ||
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
| 是否本地化服务 | 是 | 是否需要踏勘 | 否 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||
| 踏勘联系电话 | |||
| 踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||
| 踏勘联系时间 | |||
| 采购预算 | ￥***,***.** | ||
| 送货/施工/服务期限 | 合同生效之日起***日内 | ||
| 送货/施工/服务地址 | 太原市坞城路**号 山西大学 | ||
| 付款条款 | 货到验收合格后*次性支付全款 | ||
| 其他说明 | 1、货物服务类竞价项目，进口产品收取成交金额3%的履约保证金，国产收取成交金额5%的履约保证金，特殊情况另行约定。 | ||
采购清单
1
| 采购内容 | 是否进口 | 限定品牌 | 限定型号 | 计量单位 | 采购数量 | |
| 磁控溅射镀膜系统 | 否 | 武汉普迪真空 | **-**** | 套 | 1 | |
| 售后服务 | 1. 产品免费质保期为 3 年（整机）。 2. 质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）。 3. 质保期内由于设备本身原因而引起的零配件（易损件除外）的更换，其费用由供方承担。 4. 建立客户设备信息档案，随时跟踪设备运行及维护，保证设备正常运行。 5. 在接到需方要求供方进行技术支持的正式通知（含电话或邮件通知）后，供方技术人员于 12 小时内，赶到技术服务现场。 6. 对于质保期以外设备的维护，供方只收取成本费。 7. 所有配件、备件质保期外，供方长期按成本价及时提供。 8. 供方派技术工程师对需方人员进行技术培训。使需方人员能掌握有关系统设备的使用、维护和管理，达到能独立进行操作、日常测试维护等工作的目的。 9. 供方应提供详细的培训课程讲义及培训。 10. 安装验收完毕后对需方 不少于 2 人进行培训，内容包括：实验方法原理、实验操作、拟合软件的使用、仪器维护、安全要点以及其他相关内容。 11. 培训费用：所发生的培训费用由供方承担。 | |||||
| 技术参数要求 | 1. 极限真空：优于5×10-5Pa（经烘烤除气后）； 2. 抽速测试：从大气抽到工作真空（8×10-4Pa）时间少于30分钟； 3. 系统漏率：≤2x10-7Pa.l/S(以氦质谱检漏仪测试指标考核）； 4. 系统保压：系统抽至高真空后停泵关机保压12小时后真空度小于10Pa; 5. 基片加热：样品台最高加热温度500℃； 6. 溅射尺寸：衬底基片最大4英寸； 7. 样品台：基片可旋转，可调速； 8. 成膜质量：托盘4英寸范围内均匀性优于±5%； 9. 溅射靶：3个3英寸圆形靶枪，角度可调，其中1支为强磁靶； 10. 溅射电源：2台直流电源，1台射频电源； 11. 工艺气体：4路工艺气体，配备进口薄膜真空计； 12. 膜厚仪：进口石英晶振膜厚控制仪，带 1套水冷探头； | |||||
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